半導體激光應用
半導體行業隸屬于電子信息產業,激光技術和加工工藝在半導體行業中的應用,有效推動了半導體行業的發展。激光在半導體行業中可用于激光解鍵合、晶圓激光Dicing、激光退火、激光打標、激光Flip Chip、PLP Laser Repair。
紫外二極管泵浦固體(DPSS)激光器在半導體行業中的主要應用為在LED晶圓劃片。DPSS激光器系統廣泛應用于微加工、表面處理與材料加工等領域。DPSS激光器可對藍寶石、硅片、III-V族半導體、III族氮化物、陶瓷、塑料、金屬材料進行加工。
準分子激光器在半導體行業中的應用主要為2D圖形成形、3D微加工、MEMS微加工、LED激光剝離、紫外激光光刻和TFT平板激光退火。
光纖激光器和DPSS激光器在半導體行業的中的應用主要為薄膜太陽能電池劃片。
激光為半導體行業提供了有效的解決方案,激光在半導體行業中的應用將有效提高半導體行業的生產品質和產量。
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